Электронный каталог

Статья

Бачериков, Ю.Ю.
Влияние быстрого термического отжига на свойства тонких диэлектрических пленок оксидов гадолиния, титана и эрбия на поверхности карбида кремния / Ю.Ю.Бачериков, [и др.] // Журнал технической физики. – 2007. – T.77, No.2. – с.107-112. – URL: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2007/02/p107-112.pdf. – Библиогр.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$