Электронный каталог

Статья

Киселевский, В.А.
Оптимизация технологий изготовления структур интегральной фотоники с использованием позитивного электронного резиста AR-P 6200 / В.А.Киселевский, [и др.] // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 3. – С. 292-298. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/60246. – Библиогр.: 15.



Спец.(статьи,препринты) = С 37 - Оптика$