Электронный каталог

Статья

Сидоров, А.И.
Кристаллизация и формирование карбида кремния в двухслойных аморфных пленках кремний-углерод при электронном облучении / А.И.Сидоров, [и др.] // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №11. – С.1705-1710. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/53444. – Библиогр.:46.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$