Электронный каталог

Статья

Мартьянов, А.К.
Синтез мультислойных алмазных пленок в СВЧ-плазме в режимах с периодической инжекцией азота / А.К.Мартьянов, [и др.] // Доклады Российской Академии наук. Физика, технические науки. – 2021. – Т.496. – с.27-30. – URL: https://doi.org/10.31857/S2686740021010132. – Библиогр.:12.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$