Электронный каталог

Статья

Кулинич, И.В.
Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия / И.В.Кулинич, [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. – 2021. – Т.64, №2. – с.63-68. – URL: https://doi.org/10.17223/00213411/64/2/63. – Библиогр.:2.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$