Электронный каталог

Статья

Csato, C.
Energy Filter for Tailoring Depth Profiles in Semiconductor Doping Application / C.Csato, [et al.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B. – 2015. – Vol.365, Pt.A. – p.182-186. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.07.102. – Bibliogr.:13.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$