Электронный каталог

Статья

Володин, Б.А.
Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты маски от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии / Б.А.Володин, [и др.] // Известия Российской Академии наук. Серия физическая. – 2014. – Т.78, No.1. – с.82-85. – URL: http://www.maikonline.com/maik/showArticle.do?auid=VAHPDX6OPK. – Библиогр.:7.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$