Электронный каталог

Статья

Liu, H.
Residual Stress Analysis of TiN Film Fabricated by Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition Process / H.Liu, [a.o.] // Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B : Beam Interactins with Materials and Atoms. – 2013. – Vol.297. – p.1-6. – URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2012.12.015. – Bibliogr.:29.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$