Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Orthner, M. P. - High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties
Orthner, M. P. - High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties
![](/opacUnicode/app/webroot/img/doctypes/6.gif)
Статья
Автор: Orthner, M. P.
Review of Scientific Instruments: High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Orthner, M. P.
Review of Scientific Instruments: High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Orthner, M.P.
High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties / M.P.Orthner, [a.o.] // Review of Scientific Instruments. – 2010. – Vol.81, No.5. – p.055111. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.3427493. – Bibliogr.:27.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Orthner, M.P.
High Speed Wafer Scale Bulge Testing for the Determination of Thin Film Mechanical Properties / M.P.Orthner, [a.o.] // Review of Scientific Instruments. – 2010. – Vol.81, No.5. – p.055111. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.3427493. – Bibliogr.:27.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$