Электронный каталог

Статья

Зацепин, А.Ф.
Образование и электронно-лучевой отжиг имплантационных дефектов в тонкопленочной гетероструктуре Si-SiO&sub(2) / А.Ф.Зацепин, С.Н.Дмитриев, [и др.] // Журнал технической физики. – 2009. – T.79, No.2. – с.155-158. – URL: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2009/02/p155-158.pdf. – Библиогр.:13.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
ОИЯИ = ОИЯИ (JINR)2009