Электронный каталог

Статья

Шинкаренко, В.В.
Влияние активных обработок на пленки Ta&sub(2)O&sub(5) и кремниевые МДП-структуры на их основе: (обзор) / В.В.Шинкаренко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 2007. – No.42. – с.114-127. – Библиогр.:62.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$