Электронный каталог

Статья

Кошелев, К.Н.
Работы по созданию источников коротковолновго излучения для нового поколения литографии / К.Н.Кошелев, [и др.] // Успехи физических наук. – 2007. – Т.177, No.7. – с.777-780. – URL: http://data.ufn.ru//ufn07/ufn07_7/Russian/r077e.pdf. – Библиогр.:6.



Спец.(статьи,препринты) = Ц 848 - Технология производства электронной аппаратуры