Электронный каталог

Статья

Gans, T.
Frequency Coupling in Dual Frequency Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas / T.Gans, [et al.] // Applied Physics Letters. – 2006. – Vol.89, No.26. – p.261502. – URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.2425044. – Bibliogr.:14.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 - Физика плазмы