Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Соловых, А.А. - Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
Соловых, А.А. - Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
Статья
Автор: Соловых, А.А.
Журнал технической физики. Письма: Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Соловых, А.А.
Журнал технической физики. Письма: Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Соловых, А.А.
Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния / А.А.Соловых, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2026. – Т. 52, № 13/14. – С. 38-42. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/63148. – Библиогр.: 16.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Соловых, А.А.
Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния / А.А.Соловых, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2026. – Т. 52, № 13/14. – С. 38-42. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/63148. – Библиогр.: 16.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Привязано к:
Доступно
1 из 1