Электронный каталог

Статья

Захарина, М.Ю.
Формирование перспективных для электронно-лучевой и экстремально-ультрафиолетовой нанолитографии тонкопленочных резистивных материалов на основе оловоорганических оксокластеров / М.Ю.Захарина, [и др.] // Журнал технической физики. – 2026. – Т. 96, № 2. – С. 373-384. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/62298. – Библиогр.: 34.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$