Электронный каталог

Статья

Гаджимурадов, С.Г.
Атомно-слоевое осаждение пленок AlMo&sub(x)O&sub(y) с использованием трихлорида алюминия или триметилалюминия и квантово-химические расчеты процессов роста, восстановления и конверсии / С.Г.Гаджимурадов, [и др.] // Журнал неорганической химии. – 2025. – Т. 70, № 10. – С. 1258-1268. – URL: https://doi.org/10.7868/S3034560X25100046. – Библиогр.: 32.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$