Электронный каталог

Статья

Митулинский, А.С.
Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора / А.С.Митулинский, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2025. – Т. 51, № 13/14. – С. 49-53(№13). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/60705. – Библиогр.: 11.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$