Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Амиров, И.И. - Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов
Амиров, И.И. - Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов
Статья
Автор: Амиров, И.И.
Поверхность: Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Амиров, И.И.
Поверхность: Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Амиров, И.И.
Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов / И.И.Амиров, [и др.] // Поверхность. – 2024. – № 11. – С. 81-86. – URL: https://doi.org/10.31857/S1028096024110095. – Библиогр.: 26.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Амиров, И.И.
Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов / И.И.Амиров, [и др.] // Поверхность. – 2024. – № 11. – С. 81-86. – URL: https://doi.org/10.31857/S1028096024110095. – Библиогр.: 26.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
