Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Мурзина, А.В. - Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения
Мурзина, А.В. - Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения
Статья
Автор: Мурзина, А.В.
Журнал технической физики: Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Мурзина, А.В.
Журнал технической физики: Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Мурзина, А.В.
Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения / А.В.Мурзина, [и др.] // Журнал технической физики. – 2024. – Т. 94, № 8. – С. 1217-1228. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/58549. – Библиогр.: 16.
Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей
Мурзина, А.В.
Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения / А.В.Мурзина, [и др.] // Журнал технической физики. – 2024. – Т. 94, № 8. – С. 1217-1228. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/58549. – Библиогр.: 16.
Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей
Привязано к:
Доступно
1 из 1