Электронный каталог

Статья

Цыбин, Н.Н.
Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн / Н.Н.Цыбин, [и др.] // Журнал технической физики. – 2024. – Т. 94, № 7. – С. 1029-1035. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/58337. – Библиогр.: 16.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$