Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Паль, А.Ф. - Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумног...
Паль, А.Ф. - Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумног...
Статья
Автор: Паль, А.Ф.
Журнал технической физики. Письма: Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумног...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Паль, А.Ф.
Журнал технической физики. Письма: Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумног...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Паль, А.Ф.
Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумного ультрафиолетового излучения плазмы в процессе нанесения Ta барьерного покрытия / А.Ф.Паль, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2024. – Т. 50, № 3/4. – С. 34-38(№4). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/57099. – Библиогр.: 10.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Паль, А.Ф.
Устойчивость органосиликатных low-*k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумного ультрафиолетового излучения плазмы в процессе нанесения Ta барьерного покрытия / А.Ф.Паль, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2024. – Т. 50, № 3/4. – С. 34-38(№4). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/57099. – Библиогр.: 10.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Привязано к:
Доступно
1 из 1