Электронный каталог

Статья

Арапкина, Л.В.
Диффузия атомов водорода из диэлектрических подложек Si&sub(3)N&sub(4) в аморфные и поликристаллические пленки Si и Ge / Л.В.Арапкина, [и др.] // Журнал экспериментальной и теоретической физики. – 2024. – Т. 165, № 5. – С. 647-654. – URL: http://www.jetp.ras.ru/cgi-bin/dn/r_165_0647.pdf. – Библиогр.: 28.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Спец.(статьи,препринты) = С 36 - Физика твердого тела$