Электронный каталог

Статья

Шишкин, И.А.
Анализ структурного состава пленки карбида кремния, полученной методом высокотемпературного химического осаждения из газовой фазы / И.А.Шишкин, [и др.] // Физика твердого тела. – 2023. – Т. 65, № 12. – С. 2187-2190. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/56756. – Библиогр.: 8.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$