Электронный каталог

Статья

Аксенова, В.В.
Формирование рассеивающего свет микрорельефа при атомно-слоевом осаждении диэлектрика на наноструктурированные пленки оксида индия-олова / В.В.Аксенова, [и др.] // Физика твердого тела. – 2023. – Т. 65, № 12. – С. 2148-2150. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/56745. – Библиогр.: 4.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$