Электронный каталог

Статья

Михайленко, М.С.
Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении / М.С.Михайленко, [и др.] // Журнал технической физики. – 2023. – Т. 93, № 7. – С. 1046-1050. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/55767. – Библиогр.: 17.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$