Электронный каталог

Статья

Малышев, И.В.
Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии / И.В.Малышев, [и др.] // Журнал технической физики. – 2023. – Т. 93, № 7. – С. 963-967. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/55754. – Библиогр.: 21.



Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей