Электронный каталог

Статья

Суворова, Е.И.
Электронная микроскопия и спектроскопия энергетических потерь электронов тонких пленок нитрида титана в TiN&sub(x)/La: HfO&sub(2) (Hf&sub(0.5)Zr&sub(0.5)O&sub(2))/TiN&sub(x)/SiO&sub(2) / Е.И.Суворова, [и др.] // Известия Российской Академии наук. Серия физическая. – 2023. – Т.87, №10. – С.1434-1440. – URL: https://doi.org/10.3103/S1062873823703501. – Библиогр.:11.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$