Электронный каталог

Статья

Зур, И.А.
Влияние толщины на удельное электросопротивление тонких покрытий из алмазоподобного углерода на кремнии / И.А.Зур, Е.Е.Шманай, С.А.Мовчан, [и др.] // Физика твердого тела. – 2023. – Т.65, №1. – С.49-55. – URL: http://dx.doi.org/10.21883/FTT.2023.01.53922.457. – Библиогр.:21.

Установлена взаимосвязь между соотношением sp2/sp3-гибридизаций связей атомов в алмазоподобном углероде ( DLC - Diamond-Like Carbon) и его удельным электросопротивлением для покрытий толщиной в диапазоне от 22 до 70 nm, полученных вакуумно-дуговым методом, на подложках кремния марки КДБ-8. Определено, что увеличение толщины покрытия от 22 до 70 nm сопровождается уменьшением удельного поперечного электросопротивления образцов от 17 до 2 GΩ·m. Этот эффект объясняется увеличением доли атомов углерода с sp2-гибридизацией электронных орбиталей от 86 до 91%, что приводит к появлению дополнительного количества π-связей. Методом конечных элементов получено распределение потенциала и плотности тока в образце при измерении поперечных ВАХ. Полученные результаты будут полезны при создании резистивных слоев на электродах газоразрядных детекторов заряженных частиц для ограничения величины тока в случае возникновения редких искровых разрядов в них, вызванных регистрацией случайных сильноионизирующих частиц. Ключевые слова: алмазоподобные покрытия ( DLC), электрические свойства тонких пленок, гибридизация электронных орбиталей, комбинационное рассеяние света, вольт-амперные характеристики (ВАХ).



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Спец.(статьи,препринты) = С 36 - Физика твердого тела$
ОИЯИ = ОИЯИ (JINR)2023
Бюллетени = 1/023