Электронный каталог

Статья

Михайленко, М.С.
Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния / М.С.Михайленко, [и др.] // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – С.1219-1223. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52787. – Библиогр.:14.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$