Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Чхало, Н.И. - Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
Чхало, Н.И. - Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
Статья
Автор: Чхало, Н.И.
Журнал технической физики: Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Чхало, Н.И.
Журнал технической физики: Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Чхало, Н.И.
Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения / Н.И.Чхало, [и др.] // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – С.1207-1212. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52785. – Библиогр.:23.
Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей
Чхало, Н.И.
Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения / Н.И.Чхало, [и др.] // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – С.1207-1212. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52785. – Библиогр.:23.
Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей
Привязано к:
Доступно
1 из 1