Электронный каталог

Статья

Лубенченко, А.В.
Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении / А.В.Лубенченко, [и др.] // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – с.1172-1178. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52779. – Библиогр.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$