Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шабельникова, Я.Л. - Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии
Шабельникова, Я.Л. - Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии
Статья
Автор: Шабельникова, Я.Л.
Журнал технической физики: Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шабельникова, Я.Л.
Журнал технической физики: Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Шабельникова, Я.Л.
Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии / Я.Л.Шабельникова, С.И.Зайцев // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – С.1099-1103. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52768. – Библиогр.:22.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Шабельникова, Я.Л.
Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии / Я.Л.Шабельникова, С.И.Зайцев // Журнал технической физики. – 2022. – Т.92, №8. – С.1099-1103. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52768. – Библиогр.:22.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Привязано к:
Доступно
1 из 1