Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Бучин, Э.Ю. - Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе
Бучин, Э.Ю. - Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе
Статья
Автор: Бучин, Э.Ю.
Поверхность: Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Бучин, Э.Ю.
Поверхность: Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Бучин, Э.Ю.
Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе / Э.Ю.Бучин, Ю.И.Денисенко // Поверхность. – 2022. – №9. – С.106-112. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451022050032. – Библиогр.:16.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$
Бучин, Э.Ю.
Тонкие ионно-синтезированные силикатные слои в технологии кремний-на-изоляторе / Э.Ю.Бучин, Ю.И.Денисенко // Поверхность. – 2022. – №9. – С.106-112. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451022050032. – Библиогр.:16.
Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$