Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шабельникова, Я.Л. - Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии
Шабельникова, Я.Л. - Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии
Статья
Автор: Шабельникова, Я.Л.
Поверхность: Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шабельникова, Я.Л.
Поверхность: Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Шабельникова, Я.Л.
Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии / Я.Л.Шабельникова, С.И.Зайцев // Поверхность. – 2022. – №8. – С.50-55. – URL: http://dx.doi.org/. – Библиогр.:30.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Шабельникова, Я.Л.
Энергетическая и транспортная длины для описания зоны модификации резиста в ионной литографии / Я.Л.Шабельникова, С.И.Зайцев // Поверхность. – 2022. – №8. – С.50-55. – URL: http://dx.doi.org/. – Библиогр.:30.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
