Электронный каталог

Статья

Николаев, И.В.
Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si / И.В.Николаев, [и др.] // Поверхность. – 2022. – №7. – с.46-50. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451022040152. – Библиогр.:15.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$