Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Соловых, А.А. - Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
Соловых, А.А. - Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
Статья
Автор: Соловых, А.А.
Журнал технической физики. Письма: Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Соловых, А.А.
Журнал технической физики. Письма: Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Соловых, А.А.
Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии / А.А.Соловых, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2022. – Т.48, №7/8. – с.16-19(№7). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52286. – Библиогр.:11.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Соловых, А.А.
Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии / А.А.Соловых, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2022. – Т.48, №7/8. – с.16-19(№7). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/52286. – Библиогр.:11.
Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$
Привязано к:
Доступно
1 из 1