Электронный каталог

Статья

Смирнова, М.А.
Особенности формирования волнообразного рельефа поверхности кремния при облучении фокусированным пучком ионов галлия / М.А.Смирнова, [и др.] // Поверхность. – 2022. – №4. – с.44-51. – URL: https://doi.org/10.31857/S1028096022040161. – Библиогр.:32.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$