Электронный каталог

Статья

Визирь, А.В.
Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора / А.В.Визирь, [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. – 2021. – Т.64, №12. – с.3-10. – URL: https://doi.org/10.17223/00213411/64/12/3. – Библиогр.:22.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы