Электронный каталог

Статья

Булярский, С.В.
Влияние парциального давления кислорода на стехиометрический состав пленок оксида титана в процессе магнетронного нанесения / С.В.Булярский, [и др.] // Физика твердого тела. – 2021. – Т.63, №10. – с.1694-1700. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/51425. – Библиогр.:35.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$