Электронный каталог

Статья

Волковский, Ю.А.
Исследование состояния приповерхностного слоя полированных кремниевых подложек методом рентгеновской рефлектометрии в зависимости от методов их очистки / Ю.А.Волковский, [и др.] // Поверхность. – 2021. – №9. – с.40-48. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451021050207. – Библиогр.:18.



Спец.(статьи,препринты) = С 332.8 - Синхротронное излучение. Лазеры на свободных электронах. Получение и использование рентгеновских лучей