Электронный каталог

Статья

Шибалов, М.В.
Исследование ультратонких сверхпроводящих пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения / М.В.Шибалов, [и др.] // Журнал технической физики. – 2021. – Т.91, №4. – с.672-677. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/50632. – Библиогр.:31.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$