Электронный каталог

Статья

Dudin, S.
Optical and Mass Spectra from Reactive Plasma at Magnetron Deposition of Tantalum Oxynitride / S.Dudin, [et al.] // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика плазмы. – 2021. – No.1(131). – p.122-126. – URL: https://doi.org/10.46813/2021-131-122. – Bibliogr.:7.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы