Электронный каталог

Статья

Новиков, Н.В.
Транспорт вторичных ионов – продуктов неупругого взаимодействия протонов с материалами интегральной схемы / Н.В.Новиков, [и др.] // Поверхность. – 2021. – №3. – с.31-38. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451021020117. – Библиогр.:12.



Спец.(статьи,препринты) = С 349.1 - Действие излучения на материалы$