Электронный каталог

Статья

Кузьменко, В.О.
Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF&sub(3)Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии / В.О.Кузьменко, А.В.Мяконьких // Журнал технической физики. Письма. – 2021. – Т.47, №1/2. – с.52-54(№2). – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/50548. – Библиогр.:9.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы