Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шумилов, А.С. - Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда
Шумилов, А.С. - Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда
Статья
Автор: Шумилов, А.С.
Поверхность: Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шумилов, А.С.
Поверхность: Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Шумилов, А.С.
Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда / А.С.Шумилов, И.И.Амиров // Поверхность. – 2020. – №9. – с.80-88. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451020050195. – Библиогр.:26.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$
Шумилов, А.С.
Эволюция профиля Si наноструктур при распылении в аргоновой плазме ВЧИ разряда / А.С.Шумилов, И.И.Амиров // Поверхность. – 2020. – №9. – с.80-88. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451020050195. – Библиогр.:26.
Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$
