Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Генцелев, А.Н. - Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
Генцелев, А.Н. - Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
Статья
Автор: Генцелев, А.Н.
Поверхность: Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Генцелев, А.Н.
Поверхность: Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Генцелев, А.Н.
Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления / А.Н.Генцелев, [и др.] // Поверхность. – 2020. – №8. – с.108-112. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451020040266. – Библиогр.:18.
Спец.(статьи,препринты) = С 45 - Физическая химия
Генцелев, А.Н.
Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления / А.Н.Генцелев, [и др.] // Поверхность. – 2020. – №8. – с.108-112. – URL: http://dx.doi.org/10.1134/S1027451020040266. – Библиогр.:18.
Спец.(статьи,препринты) = С 45 - Физическая химия