Электронный каталог

Статья

Anjum, Z.
Evolution of Plasma Parameters in Capacitively Coupled He–O&sub(2)/Ar Mixture Plasma Generated at Low Pressure Using 13.56 MHz Generator / Z.Anjum, [et al.] // Physica Scripta. – 2020. – Vol.95, No.4. – p.045403. – URL: http://dx.doi.org/10.1088/1402-4896/ab687f. – Bibliogr.:47.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 а - Общие вопросы физики плазмы