Электронный каталог

Статья

Каменецких, А.С.
Получение Al&sub(2)O&sub(3) покрытий реакционным термическим испарением в плазме сильноточного разряда с полым анодом / А.С.Каменецких, [и др.] // Поверхность. – 2020. – №1. – с.98-105. – URL: https://doi.org/10.1134/S1027451020010061. – Библиогр.:24.



Спец.(статьи,препринты) = С 353 - Физика плазмы