Электронный каталог

Статья

Шугуров, А.Р.
Влияние парциального давления азота на состав, микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti&sub(1-x-y)Al&sub(x)Tа&sub(y)N, полученных методом реактивного магнетронного распыления / А.Р.Шугуров, [и др.] // Журнал технической физики. Письма. – 2019. – Т.45, №7/8. – с.51-54. – URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/47624. – Библиогр.:16.



Спец.(статьи,препринты) = С 344.4б - Методы приготовления тонких пленок$