Электронный каталог

Статья

Абраменко, Д.Б.
Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН) / Д.Б.Абраменко, [и др.] // Успехи физических наук. – 2019. – Т.189, №3. – с.322-333. – URL: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447. – Библиогр.:71.



Спец.(статьи,препринты) = С 33 а - Нанофизика. Нанотехнология$